Сенсорные элементы микроэлектромеханических систем на основе анодного оксида алюминия - «Национальный агрегатор открытых репозиториев российских университетов» (НОРА)

Материалов:
1 005 012

Репозиториев:
30

Авторов:
761 409

расширенный поиск

Сенсорные элементы микроэлектромеханических систем на основе анодного оксида алюминия

Куцанов, А. В.

Дата публикации: 2017

Дата публикации в реестре: 2021-08-05T17:36:40Z

Ключевые слова:
авторефераты диссертаций, сенсорные элементы, микроэлектромеханические системы, анодный оксид алюминия

Тип: Автореферат

Связанные документы (рекомендация CORE)