В статье рассматриваются основные направления автоматизации производства интеграль-
ных схем. Предлагаются принципы построения интегрированных производственных сис-
тем. Рассматриваются ключевые задачи применения информационных технологий в произ-
водстве интегральных схем. In this paper the main approaches of computer-aided integrated circuits manufacturing are
considered. The construction principles for integrated manufacturing systems are suggested. The key
tasks of using Information Technologies for integrated circuit manufacturing are viewed.