Разложение моногидридов кремния и германия с использованием платино-рениевой шпинели в качестве катализатора

Ковалевский, А. А.; Строгова, А. С.; Кузнецов, Д. Ф.; Воронец, Я. С.; Kovalevsky, A. A.; Strogova, A. S.; Kuzniatsou, D. F.; Voronec, Y. S.

Разложение моногидридов кремния и германия с использованием платино-рениевой шпинели в качестве катализатора

Ковалевский, А. А., Строгова, А. С., Кузнецов, Д. Ф., Воронец, Я. С., Kovalevsky, A. A., Strogova, A. S., Kuzniatsou, D. F., Voronec, Y. S.

Дата публикации: 2018

Дата публикации в реестре: 2021-08-05T17:39:01Z

Аннотация:

Показана высокая степень интенсификации процесса разложения моногидридов с использованием катализаторов. Установлено, что полнота при разложении моногидридов в присутствии платинорениевой шпинели возрастает на 35–55%.High degree of intensification of monohydrides decomposition process with use of catalysts is shown. It is established that the completeness decomposition of monohydrides in the presenceof platinoreniyevy spinel increases for 35–55 %.

Ключевые слова:
доклады БГУИР, моногидриды, моносилан, катализатор, пленки кремния и германия, monohydrides, monosilane, films of silicon and germany

Тип: Статья