Свойства  пленок  ZnO  и  ZnO:AI,  перспективных  для  прозрачных электродов

Хохлов, Е. А.; Войнилович, А. Г.; Смирнов, А. Г.; Khakhlov, E. A.; Voinilovich, A. G.; Smirnov, A. G.

Свойства пленок ZnO и ZnO:AI, перспективных для прозрачных электродов

Хохлов, Е. А., Войнилович, А. Г., Смирнов, А. Г., Khakhlov, E. A., Voinilovich, A. G., Smirnov, A. G.

Дата публикации: 2008

Дата публикации в реестре: 2021-08-05T17:40:45Z

Аннотация:

В работе были получены пленки ZnO, ZnO:Al на кварцевых подложках методом ионно лучевого распыления. Проведены исследования их оптических свойств. Пленки ZnO и ZnO, легированные AI показали оптическую однородность и прозрачность в видимом диапазоне спектра. Для легированных образцов наблюдается коротковолновый сдвиг края поглощения, который может объясняться эффектом Бурштейна-Мосса. Обсуждается корреляция электропроводности и положения края поглощения.

Ключевые слова:
доклады БГУИР, прозрачные проводящие покрытия, окись цинка, отжиг, край поглощения

Тип: Статья