Автоматизация технологического процесса производства окисных пленок в микроэлектронике

Гомза, Е. С.

Автоматизация технологического процесса производства окисных пленок в микроэлектронике

Дата публикации: 2018

Дата публикации в реестре: 2021-08-05T17:42:02Z

Аннотация:

Рассматривается определение режимов диффузии на основании заданных параметров распределения примеси. Диффузия ведется из предварительно созданного с помощью ионной имплантации слоя с ограниченным содержанием примеси.

Ключевые слова:
материалы конференций, оксидные пленки, микроэлектроника

Тип: Статья