Исследование влияния кремниевых пластин на распределение СВЧ мощности в разрядной камере СВЧ плазмотрона резонаторного типа - «Национальный агрегатор открытых репозиториев российских университетов» (НОРА)

Материалов:
1 005 012

Репозиториев:
30

Авторов:
761 409

расширенный поиск

Исследование влияния кремниевых пластин на распределение СВЧ мощности в разрядной камере СВЧ плазмотрона резонаторного типа

Пронина, М. И., Сабодаш, О. А.

Дата публикации: 2018

Дата публикации в реестре: 2021-08-05T17:42:48Z

Ключевые слова:
материалы конференций, кремниевые пластины, СВЧ мощность, плазменная установка резонаторного типа

Тип: Статья

Связанные документы (рекомендация CORE)