Исследовательский стенд для определения эффективности фотоионизации газа

Тихон, О. И.

Исследовательский стенд для определения эффективности фотоионизации газа

Дата публикации: 2018

Дата публикации в реестре: 2021-08-05T17:42:49Z

Аннотация:

В условиях производства микро- и наноэлектроники актуальной является проблема поиска способов увеличения производительности труда и модификации существующих технологических процессов. Стандартным путём для решения подобных задач является повышение мощности используемого технологического оборудования. В качестве альтернативы возможно использование методов предварительной активации реализуемых процессов, например путём фотоионизации рабочего газа, позволяющих увеличить их эффективность.

Ключевые слова:
материалы конференций, фотоионизация газа

Тип: Статья