Технологии субмикронных структур микроэлектроники

Достанко, А. П.; Бордусов, С. В.; Голосов, Д. А.; Завадский, С. М.; Колос, В. В.; Купо, А. Н.; Ланин, В. Л.; Лушакова, М. С.; Мадвейко, С. И.; Мельников, С. Н.; Петлицкий, А. Н.; Петухов, И. Б.; Солодуха, В. А.; Телеш, Е. В.

Технологии субмикронных структур микроэлектроники

Достанко, А. П., Бордусов, С. В., Голосов, Д. А., Завадский, С. М., Колос, В. В., Купо, А. Н., Ланин, В. Л., Лушакова, М. С., Мадвейко, С. И., Мельников, С. Н., Петлицкий, А. Н., Петухов, И. Б., Солодуха, В. А., Телеш, Е. В.

Дата публикации: 2018

Дата публикации в реестре: 2021-08-05T17:42:58Z

Аннотация:

Рассмотрены и обобщены результаты исследований и разработок в области технологии и оборудования для производства и диагностики субмикронных структур полупроводниковой микроэлектроники.

Ключевые слова:
публикации ученых, микроэлектроника, технологии, субмикронные структуры

Тип: Книга