Разложение моносилана в газовой фазе с использованием катализатора Co40Fe8Pt50Ni2 на полиимидном носителе

Ковалевский, А. А.; Строгова, А. С.; Кузнецов, Д. Ф.; Воронец, Я. С.

Разложение моносилана в газовой фазе с использованием катализатора Co40Fe8Pt50Ni2 на полиимидном носителе

Ковалевский, А. А., Строгова, А. С., Кузнецов, Д. Ф., Воронец, Я. С.

Дата публикации: 2018

Дата публикации в реестре: 2021-08-05T17:43:48Z

Аннотация:

Показана высокая степень эффективности полиметаллического катализатора (ПМК) Co40Fe8Pt50Ni2 на полиимидном носителе в процессе разложения моносилана при осаждении наноструктурированных поликристаллических пленок кремния.

Ключевые слова:
публикации ученых, моногидриды, моносилан, полиметаллический катализатор, пленки кремния, полиимид

Тип: Статья