Формирование диффузионных барьерных слоев при локальном осаждении меди - «Национальный агрегатор открытых репозиториев российских университетов» (НОРА)

Материалов:
1 005 012

Репозиториев:
30

Авторов:
761 409

расширенный поиск

Формирование диффузионных барьерных слоев при локальном осаждении меди

Саратокина, В. И.

Дата публикации: 2018

Дата публикации в реестре: 2021-08-05T17:43:58Z

Ключевые слова:
авторефераты диссертаций, медная металлизация, диффузионно-барьерные слои

Тип: Автореферат

Связанные документы (рекомендация CORE)