Формирование пленок оксида титана  методом реактивного магнетронного распыления

Вилья, Н.; Голосов, Д. А.; Нгуен, Т. Д.

Формирование пленок оксида титана методом реактивного магнетронного распыления

Дата публикации: 2019

Дата публикации в реестре: 2021-08-05T17:46:01Z

Аннотация:

В статье представлены результаты исследований диэлектрических характеристик пленок оксида титана, нанесенных методом реактивного магнетронного распыления Ti мишени в Ar/O2 смеси газов. Установлены зависимости диэлектрической проницаемости, тангенса угла диэлектрических потерь, ширины запрещенной зоны, плотности токов утечки от содержания кислорода в Ar/O2 смеси газов в процессе нанесения пленок. Получены пленки с диэлектрической проницаемостью 20–30 единиц, тангенсом угла диэлектрических потерь 0,02, шириной запрещенной зоны 3,82 эВ и плотностью токов утечки при напряженности электрического поля 2,0Ч106 В/см менее 1,0 А/см2.

Ключевые слова:
доклады БГУИР, оксид титана, реактивное магнетронное распыление, МОП структура, диэлектрические свойства

Тип: Статья