Кварцевый датчик для измерения скорости нанесения тонких пленок методами ионно-плазменного распыления - «Национальный агрегатор открытых репозиториев российских университетов» (НОРА)

Материалов:
1 005 012

Репозиториев:
30

Авторов:
761 409

расширенный поиск

Кварцевый датчик для измерения скорости нанесения тонких пленок методами ионно-плазменного распыления

Аюпов, В. А., Шамшуров, П. Ю., Голосов, А. Д.

Дата публикации: 2019

Дата публикации в реестре: 2021-08-05T17:48:00Z

Аннотация:

Для регистрации скорости нанесения при ионно-лучевом и ионно-плазменном распылении был разработан специализированный кварцевый датчик QI-001.

Ключевые слова:
материалы конференций, кварцевый датчик, скорость нанесения распыления, тонкая пленка

Тип: Статья

Связанные документы (рекомендация CORE)