Ионно-лучевой синтез тонкопленочных покрытий из СF

Гиль, Г. С.; Данилевич, Д. С.

Ионно-лучевой синтез тонкопленочных покрытий из СF

Дата публикации: 2019

Дата публикации в реестре: 2021-08-05T17:48:13Z

Аннотация:

Проведено исследование влияния состава рабочего газа, напряжения на мишени и температуры подложки при нанесении пленок СF реактивным ионно-лучевым распылением графитовой мишени на скорость нанесения, электрофизические, спектральные и гидрофобные характеристики.

Ключевые слова:
материалы конференций, пленка СF

Тип: Статья