Enhanced discharge and surface properties of (Ti,AlCr)N coatings by cleaning cathodic-arc chamber - «Национальный агрегатор открытых репозиториев российских университетов» (НОРА)

Материалов:
1 005 012

Репозиториев:
30

Авторов:
596 024

расширенный поиск

Enhanced discharge and surface properties of (Ti,AlCr)N coatings by cleaning cathodic-arc chamber

Kong, Y., Tian, X., Gong, C., Golosov, D. A., Li, M., Tian, Q., Голосов, Д. А.

Дата публикации: 2019

Дата публикации в реестре: 2021-08-05T17:49:47Z

Аннотация:

Ключевые слова:
публикации ученых, Cathodic arc discharge, Cleaned chamber, (Ti,AlCr)N coatings, Deposition rate, Surface properties

Тип: Статья

Связанные документы (рекомендация CORE)