Получение плёнок на основе нитридов металлов Ti, Sn, Ag методом магнетронного напыления - «Национальный агрегатор открытых репозиториев российских университетов» (НОРА)

Материалов:
1 005 012

Репозиториев:
30

Авторов:
761 409

расширенный поиск

Получение плёнок на основе нитридов металлов Ti, Sn, Ag методом магнетронного напыления

Симченко, С. В., Бурцева, В. П., Кайкы, М. Н.

Дата публикации: 2020

Дата публикации в реестре: 2021-08-05T17:51:32Z

Аннотация:

Опубликовано в репозитории БГУИР

Получение плёнок металлов TiN, SnN, AgN методом магнетронного напыления и их спектры поглощения.

Ключевые слова:
неопубликованный документ, магнетронное напыление, нитриды металлов, спектры поглощения

Тип: Статья

Связанные документы (рекомендация CORE)