В данной работе разработана технология формирования электродной структуры на базе локализованных массивов углеродных нанотрубок (УНТ) для планарного микросуперконденсатора. Технология основана на взрывной фотолитографии и химическом парофазном осаждении УНТ с комбинированным катализатором. Применение комбинированного катализатора никель-ферроцен позволило достичь толщины пористых электродов 370мкм и минимизировать сопротивление коллектора тока.