В данной работе рассмотрен токоперенос по ловушечным состояниям в оксиде молибдена. Приведены результаты моделирования протекания туннельного тока посредством туннелирования между ловушками в оксиде молибдена в зависимости от концентрации ловушек, их энергии и напряженности электрического поля.