МЭМС-индуктор на основе анодного оксида алюминия

Звонова, А. Д.

МЭМС-индуктор на основе анодного оксида алюминия

Дата публикации: 2020

Дата публикации в реестре: 2021-08-05T17:53:01Z

Аннотация:

В современных устройствах беспроводной связи потребность в высокопроизводительных индукторах возрастает, поскольку они широко используются в радиочастотных интегральных схемах. Применяя традиционные технологии изготовления ИС невозможно получить компоненты с высокой добротностью (Q s >30), необходимые для обеспечения высокой избирательности в ВЧ системах связи. Объединение технологий изготовления СВЧ ИС и микросистем позволит создавать новые устройства, обладающие целым рядом достоинств: миниатюрными размерами, небольшим весом, низким уровнем потребляемой мощности, возможностью массового производства, надежностью и воспроизводимостью.

Ключевые слова:
материалы конференций, микроэлектромеханические структуры, анодное оксидирование, индукторы

Тип: Статья