Исследование микротвердости тонких пленок нитрида  титана - алюминия

Лам, Н. Н.

Исследование микротвердости тонких пленок нитрида титана - алюминия

Дата публикации: 2020

Дата публикации в реестре: 2021-08-05T17:54:23Z

Аннотация:

Проведены исследования микротвердости пленок нитрида титана-алюминия, нанесенных методом реактивного магнетронного распыления Ti-Al мозаичных мишеней с концентрацией алюминия 20%. Получена зависимость микротвердости от концентрации азота в Ar/N2 смеси газов процессе нанесения пленок. Для концентрации азота в пленке имеется оптимум, при котором достигается максимальная твердость. Максимальная твердость HK 23.5 ГПа получена для пленок состава Ti5AlN1.33, которые имели соотношение Ti/Al 5:1 и недостаток азота.

Ключевые слова:
материалы конференций, микротвердость, пленки нитрида титана - алюминия

Тип: Статья