Применение распределений Пирсона для расчета пространственного распределения концентрации примеси введенной методом ионной имплантации

Гранько, С. В.; Ковалевский, А. А.

Применение распределений Пирсона для расчета пространственного распределения концентрации примеси введенной методом ионной имплантации

Дата публикации: 2020

Дата публикации в реестре: 2021-08-05T17:55:28Z

Аннотация:

Предложена модель для расчета объемного распределения концентрации примеси внедренной в твердое тело методом ионной имплантации с использованием маскирующих покрытий. Математической основой модели является использование распределения Пирсона VII, описывающее распределение концентрации при использовании модели точечного пучка ионов. Установлены особенности влияния момента эксцесса на пространственное распределение примеси.

Ключевые слова:
публикации ученых, распределения Пирсона, распределение концентрации примеси

Тип: Статья