Низкочастотный генератор для ионно-плазменной модификации материалов в плазме импульсного тлеющего разряда

Солдатенко, А. В.

Низкочастотный генератор для ионно-плазменной модификации материалов в плазме импульсного тлеющего разряда

Дата публикации: 2020

Дата публикации в реестре: 2021-08-05T17:55:55Z

Аннотация:

В связи с развитием микро- и наноэлектроники, развитии приборостроения и производства нового оборудования и инструментов, повышаются требования к материалам, использующимся в ходе производства, что приводит к разработке новых методов обработки материалов. Одним из важных направлений в обработке материалов, являются плазменные методы обработки материалов, позволяющие достигать заданных параметров обрабатываемых материалов и снизить затраты на производство различного оборудования для конкретного типа обработки.

Ключевые слова:
публикации ученых, ионно-плазменная обработка, импульсные разряды

Тип: Статья