Ультразвуковая интенсификация формирования КНИ-структур

Ефремов, В. А.; Кулешов, А. А.; Левченко, Н. В.

Ультразвуковая интенсификация формирования КНИ-структур

Ефремов, В. А., Кулешов, А. А., Левченко, Н. В.

Дата публикации: 2010

Дата публикации в реестре: 2021-08-05T17:56:26Z

Аннотация:

Предложена кинетическая модель эволюции профиля распределения имплантированных атомов водорода в условиях внешней ультразвуковой и температурной обработки. В рамках ab-initio моделирования проведены расчеты энергии связи атомов водорода в кристаллической решетке кремния для оценки влияния ультразвука на процесс миграции атомов водорода в кремниевой подложке.

Ключевые слова:
материалы конференций, информационная безопасность, КНИ-структуры, радиочастотная идентификация объекты

Тип: Статья