Особенности формирования германосиликатного стекла в процессе окисления пленок поликристаллического кремния, легированного германием

Ковалевский, А. А.; Строгова, А. С.; Строгова, Н. С.

Особенности формирования германосиликатного стекла в процессе окисления пленок поликристаллического кремния, легированного германием

Ковалевский, А. А., Строгова, А. С., Строгова, Н. С.

Дата публикации: 2011

Дата публикации в реестре: 2021-08-05T17:58:26Z

Аннотация:

Проведены исследования топографии поверхности, кристаллической структуры плѐнок ПКК (Ge), полученных, разложением смеси моносилан – моногерман – водород. Этот процесс в сочетании с пост окислением рассматривался в качестве альтернативной, более «чистой» технологии, позволяющей сформировать нанокластеры германия и сплава кремний-германий отличные по структуре и размерах.

Ключевые слова:
материалы конференций, кристаллические структуры, нанокластеры, нанопленки

Тип: Статья