Процесс формирования алмазоподобных углеродных покрытий с применением плазмы высокой плотности

Леонович, Н. В.; Занько, А. И.; Логунов, К. Т.

Процесс формирования алмазоподобных углеродных покрытий с применением плазмы высокой плотности

Леонович, Н. В., Занько, А. И., Логунов, К. Т.

Дата публикации: 2021

Дата публикации в реестре: 2021-08-05T18:03:01Z

Аннотация:

Разработана технология химического осаждения алмазоподобного углеродного покрытия в плазме высокой плотности. Описан реактор для плазмохимического осаждения. Получены покрытия алмазоподобного углерода. Представлены результаты исследования технологического процесса осаждения алмазоподобных углеродных покрытий.

Ключевые слова:
материалы конференций, химическое осаждение, углеродные покрытия, алмазоподобные углеродные покрытия

Тип: Статья