Структурно-фазовые  превращения  в  системах  металл-кремний  при  воздействии  компрессионных  плазменных  потоков : отчет о НИР (заключ.)

Петухов, Ю. А.; Пунько, А. В.

Структурно-фазовые превращения в системах металл-кремний при воздействии компрессионных плазменных потоков : отчет о НИР (заключ.)

Дата публикации: 2012

Дата публикации в реестре: 2021-08-05T18:04:32Z

Аннотация:

Предложена модель процессов диффузионного и конвективного массопереноса в приповерхностном слоя, учитывающая неоднородное распределение нормального давления плазменного потока на обрабатываемую поверхность. Обнаружено, что за время существования жидкой фазы проникновения металла на глубину 10-30 мкм обеспечивается за счёт конвективного движения расплавленного металла вглубь жидкого кремния.

Ключевые слова:
отчеты о НИР, компрессионные плазменные потоки, силициды металлов, диффузия, конвекция

Тип: Technical Report