Система прецизионных пространственных перемещений на основе планарных приводов прямого действия для оборудования производства изделий электронной техники

Агранович, А. А.; Ahranovich, A. A.

Система прецизионных пространственных перемещений на основе планарных приводов прямого действия для оборудования производства изделий электронной техники

Дата публикации: 2007

Дата публикации в реестре: 2021-08-05T18:04:59Z

Аннотация:

Цель работы: разработка системы прецизионных пространственных перемещений с шестью степенями свободы на трех планарных позиционерах как механо-аппаратно-программного комплекса для реализации сложных программируемых движений в оборудовании производства изделий электронной техники.The aim of the work: development of system of precision spatial movement with six degrees of freedom based on three planar positioners as mechanical, hardware and software complex for implementation of compound program motion in microelectronics production equipment.