Мембранные сенсорные элементы на основе анодного оксида алюминия : отчет о НИР (заключ.)

Короткевич, А. В.; Чушкова, Д. И.

Мембранные сенсорные элементы на основе анодного оксида алюминия : отчет о НИР (заключ.)

Дата публикации: 2015

Дата публикации в реестре: 2021-08-05T18:06:32Z

Аннотация:

Цель исследований – разработка процессов изготовления наноструктурированных мембран на основе анодного оксида алюминия для микроэлектромеханических систем.

Ключевые слова:
отчеты о НИР, алюминий, анодирование, анодный оксид алюминия, микроэлектромеханические системы, наноэлектроника, наноматериалы

Тип: Technical Report