Метод ступенчатого травления оптического волокна

Vasil’ev M.G.; Vasil’ev A.M.; Golovanov V.V.; Izotov A.D.; Shelyakin A.A.

Метод ступенчатого травления оптического волокна

Vasil’ev M.G., Vasil’ev A.M., Golovanov V.V., Izotov A.D., Shelyakin A.A.

Дата публикации в реестре: 2021-08-05T19:19:22Z

Аннотация:

Рассмотрен метод ступенчатого травления оптического волокна с использованием различных составов травителей на основе 40%-ной плавиковой кислоты (HF) и водных растворов фтористого аммония (NH4F). Определены составы, скорости травления, зависимости скорости травления от температуры и формы травления от состава. Показана перспективность использования метода ступенчатого травления оптического волокна в производстве приборов микроэлектроники.