Интерференционная холоэллипсометрия «in situ» прозрачного двумерного одноосного кристалла при нормальном отражении лазерного излучения

Ali M.; Kachurin Yu.Yu.; Kiryanov A.P.; Ryjova T.A.; Shapkarin I.P.

Интерференционная холоэллипсометрия «in situ» прозрачного двумерного одноосного кристалла при нормальном отражении лазерного излучения

Ali M., Kachurin Yu.Yu., Kiryanov A.P., Ryjova T.A., Shapkarin I.P.

Дата публикации в реестре: 2021-08-05T20:19:35Z

Аннотация:

В работе представлены: а) метод интерференционной холоэллипсометрии in situ (эллипсометрия полного набора измеряемых параметров: модулей и фаз комплексных амплитудных коэффициентов отражения света с линейными p- и s-поляризациями) при нормальном отражении лазерного излучения от прозрачного двумерного одноосного кристалла с оптической осью в плоскости отражающей поверхности; б) реализующий предложенный метод холоэллипсометр на основе интерферометра Майкельсона с фазовой модуляцией лазерного излучения.