Получено уравнение для расчета коэффициента Зеебека в тонких металлических нестехиометрических оксидных пленках при взаимодействии с атмосферой. Тонкие пленки оксида вольфрама, легированного титаном и танталом, были получены методом магнетронного распыления металлов и последующего термического окисления.