Чувствительные элементы газоанализаторов, на основе покрытий, получаемых методом магнетронного распыления

Олиферович, Надежда Михайловна; Анкуда, Максим Анатольевич; Карпович, Дмитрий Семенович

Чувствительные элементы газоанализаторов, на основе покрытий, получаемых методом магнетронного распыления

Олиферович, Надежда Михайловна, Анкуда, Максим Анатольевич, Карпович, Дмитрий Семенович

Дата публикации: 2021

Дата публикации в реестре: 2022-10-06T13:04:03Z

Аннотация:

Измерители концентрации, принцип действия которых основан па взаимодействии оксидов металлов с анализируемыми газами, весьма перспективны для анализа количественного и качественного состава газов в различных отраслях промышленности.

Ключевые слова:
газоанализаторы, магнетронное распыление, оксидные пленки, пленочные газовые сенсоры, полупроводниковые сенсоры, полупроводниковые материалы, чувствительность датчиков, чувствительные элементы газоанализаторов

Тип: Article