Закономерности формирования тонких пленок In[2]О[3] методом термического окисления индия

Лугин, Валерий Геннадьевич; Жарский, Иван Михайлович

Закономерности формирования тонких пленок In[2]О[3] методом термического окисления индия

Лугин, Валерий Геннадьевич, Жарский, Иван Михайлович

Дата публикации: 2001

Дата публикации в реестре: 2022-10-06T13:04:17Z

Аннотация:

Целью настоящей работы являлось исследование закономерностей изменения структурных и электрофизических параметров, происходящих в процессе неизотермического окисления тонких пленок индия.

Ключевые слова:
индий, термическое окисление, полупроводниковые материалы, тонкие пленки индия, магнетронное напыление, кремний монокристаллический, электронная микроскопия

Тип: Article