Электрохимическое осаждение легированных марганцем кремний-углеродных пленок для импедансометрических датчиков - «Национальный агрегатор открытых репозиториев российских университетов» (НОРА)

Материалов:
1 005 012

Репозиториев:
30

Авторов:
761 409

расширенный поиск

Электрохимическое осаждение легированных марганцем кремний-углеродных пленок для импедансометрических датчиков

Михайлова, Т. С., Мясоедова, Т. Н., Пташник, В. В., Бут, А. А.

Дата публикации: 2022

Дата публикации в реестре: 2022-10-06T13:08:08Z

Аннотация:

В статье рассмотрено электрохимическое осаждение легированных марганцем кремний-углеродных пленок для импедансометрических датчиков.

Ключевые слова:
кремний-углеродные пленки, импедансометрические датчики, электрохимический импеданс датчиков, электрохимическое осаждение, нанокристаллические пленки, легирование пленок

Тип: Article

Связанные документы (рекомендация CORE)