Изучение химического состава и электронных состояний элементов на поверхности и в объеме тонких пленок In[2]О[3]

Лугин, Валерий Геннадьевич; Жарский, Иван Михайлович

Изучение химического состава и электронных состояний элементов на поверхности и в объеме тонких пленок In[2]О[3]

Лугин, Валерий Геннадьевич, Жарский, Иван Михайлович

Дата публикации: 2001

Дата публикации в реестре: 2022-10-06T13:10:57Z

Аннотация:

Методами оже-электронной спектроскопии и рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии изучены тонкие пленки In[2]O[3], полученные методом термического окисления индия. Изучение химического состава и электронных состояний элементов в пленках оксида индия позволило получить важную информацию, необходимую для описания свойств тонких пленок и прогнозирования их поведения при дальнейшем функционировании.

Ключевые слова:
оже-электронной спектроскопия, рентгеновская фотоэлектронная спектроскопия, тонкие пленки, химический состав, электронные состояния, термическое окисление, оксид индия, оксидные пленки

Тип: Article