Особенности метода ионно-лучевого синтеза алмазоподобных пленок

Федосенко, Т. Н.; Коледа, М. А.

Особенности метода ионно-лучевого синтеза алмазоподобных пленок

Дата публикации: 2009

Дата публикации в реестре: 2022-10-06T13:51:29Z

Аннотация:

В работе рассмотрены особенности ионно-лучевого синтеза алмаза- Подобных плёнок с помощью низкоэнергетических и высокоэнергетических источников. Отличительными особенностями метода являются промышленно-приемлимые скорости осаждения, хорошая адгезия, высокое свето-пропускание в видимом и инфракрасном диапазонах спектра.

Тип: Working Paper