Полупроводниковый газовый сенсор с нагревателем из оксидов металлов

Таратын, И. А.; Козуля, А. А.; Рысик, А. Н.

Полупроводниковый газовый сенсор с нагревателем из оксидов металлов

Таратын, И. А., Козуля, А. А., Рысик, А. Н.

Дата публикации: 2021

Дата публикации в реестре: 2022-10-06T13:56:31Z

Аннотация:

В данной работе рассматривается конструкция и характеристики газового сенсора, реализованные на кремниевой подложке, с использованием планарной технологии. При измерениях выходного сигнала в качестве нагревательного элемента были использованы оксиды металлов III-й группы таблицы Менделеева, которые одновременно являлись газочувствительным слоем. Данная конструкция обеспечивает высокую чувствительность к воздействию оксида азота с концентрацией 2 ppm и оксида углерода с концентрацией 11,8 ppm.

Тип: Working Paper