Ионно-лучевое распыление мишени из политетрафторэтилена

Телеш, Е. В.; Точеный, В. А.

Определено влияние ускоряющего напряжение на аноде Ua, давления и состава рабочего газа на процессы нагрева и ионно-лучевого распыления мишени из политетрафторэтилена. Увеличение Ua и рабочего давления приводило к росту скорости нагрева и достижения максимальной температуры мишени до 480 К за 4–5 минут распыления. Установлено, что через 1–1,5 мин после начала распыления происходит увеличение рабочего давления в камере за счет разложения политетрафторэтилена. Повышение давления приводит к росту тока разряда и снижению напряжения анода до 1,0–1,2 кВ. Добавка фтор- содержащего газа С3F8 способствовала росту скорости нагрева мишени ~ в 2 раза и достижению за время распыления 4 мин температуры мишени 500 К.

Ионно-лучевое распыление мишени из политетрафторэтилена

Связанные документы (рекомендация CORE)

Новости проекта

Новости

Партнеры

Индексация