Molecular Dynamics Simulation of Copper Nanofilm Self-Assembly on Silicon Substrate under Gas-Discharge Plasma Conditions - «Национальный агрегатор открытых репозиториев российских университетов» (НОРА)

Материалов:
1 005 012

Репозиториев:
30

Авторов:
761 409

расширенный поиск

Molecular Dynamics Simulation of Copper Nanofilm Self-Assembly on Silicon Substrate under Gas-Discharge Plasma Conditions

Fairushin I.I., Shemakhin A.Y., Khabir’yanova A.A.

Дата публикации: 2021

Дата публикации в реестре: 2022-10-06T16:01:45Z

Аннотация:

Ключевые слова:
copper nanofilm, gas discharge, molecular dynamics, self-assembly, sputtering

Тип: Article

Источник: SCOPUS00181439-2021-55-5-SID85115357777

Связанные документы (рекомендация CORE)