Incoherent-light pulse annealing of nanoporous germanium layers formed by ion implantation - «Национальный агрегатор открытых репозиториев российских университетов» (НОРА)

Материалов:
1 005 012

Репозиториев:
30

Авторов:
596 024

расширенный поиск

Incoherent-light pulse annealing of nanoporous germanium layers formed by ion implantation

Stepanov A.L., Farrakhov B.F., Fattakhov Y.V., Rogov A.M., Konovalov D.A., Nuzhdin V.I., Valeev V.F.

Дата публикации: 2021

Дата публикации в реестре: 2022-10-06T16:02:13Z

Аннотация:

Ключевые слова:
Incoherent-light pulse annealing, Ion implantation, Nanoporous germanium

Тип: Article

Источник: SCOPUS0042207X-2021-186-SID85099635481

Связанные документы (рекомендация CORE)