Использование ионного травления металла для улучшения адгезии DLC-покрытий, получаемых методом HiPIMS

Пигаль, Р. В.; Боровиков, С. М.; Лагуцкий, И. А.; Терещук, О. И.

Использование ионного травления металла для улучшения адгезии DLC-покрытий, получаемых методом HiPIMS

Пигаль, Р. В., Боровиков, С. М., Лагуцкий, И. А., Терещук, О. И.

Дата публикации: 2022

Дата публикации в реестре: 2022-10-06T16:31:22Z

Аннотация:

Целью работы являлась оценка влияния предварительного травления стальной подложки на адгезию алмазоподобного покрытия (DLC-покрытия). Исследовалась морфология и микроструктура образцов по фотографиям, получаемым с помощью сканирующего электронного микроскопа. Установлено, что методы магнетронного распыления импульсами высокой мощности (англоязычное сокращение HiPIMS) с предварительным травлением материалами Cr (хром) и Ti (титан) при отрицательном смещением на подложке показывают лучшие результаты, нежели травление ионами Ar (аргон).

Ключевые слова:
публикации ученых, алмазоподобные покрытия, тонкоплёночные технологии, импульсное магнетронное распыление, diamond-like coating (DLC), thin-film technologies, pulsed magnetron sputtering

Тип: Article