Цифровая оптическая микроскопия в производстве элементной базы для систем защиты информации

Емельянов, В. А.; Пономарь, В. Н.; Чигирь, Г. Г.

Цифровая оптическая микроскопия в производстве элементной базы для систем защиты информации

Емельянов, В. А., Пономарь, В. Н., Чигирь, Г. Г.

Дата публикации: 2005

Дата публикации в реестре: 2022-10-06T16:31:41Z

Аннотация:

В данной работе показана возможность использования оптических микроскопов улучшенной конструкции для обеспечения операционного контроля в технологии субмикронных микросхем. Для получения высококачественных оцифрованных изображений элементов сформирован цифровой оптический микроскоп на основе микроскопа ф. Leica INM100 с набором высокоразрешающих объективов PL APO (1,6×, 2,5×, 5×, 10×, 20×, 50×, 100×, 150×), прецизионным сканирующим столиком LSTEP13, цифровой камерой Polaroid DMC Ie с разрешением матрицы 1600×1200 пикселей, управляющим компьютером на платформе Windows с интерфейсом SCSI-II.

Ключевые слова:
доклады БГУИР, оптические микроскопы, микросхемы, цифровая оптическая микроскопия, защита информации, информационная безопасность

Тип: Статья