Физические особенности функционирования планарного магнетрона с нагреваемой в разряде термоизолированной мишенью для нанесения покрытий на основе бора

Визирь, Алексей Вадимович; Николаев, Алексей Геннадьевич; Окс, Ефим Михайлович; Фролова, Валерия Петровна; Черкасов, Александр Алексеевич; Шандриков, Максим Валентинович; Юшков, Георгий Юрьевич

Физические особенности функционирования планарного магнетрона с нагреваемой в разряде термоизолированной мишенью для нанесения покрытий на основе бора

Визирь, Алексей Вадимович, Николаев, Алексей Геннадьевич, Окс, Ефим Михайлович, Фролова, Валерия Петровна, Черкасов, Александр Алексеевич, Шандриков, Максим Валентинович, Юшков, Георгий Юрьевич

Дата публикации: 2021

Дата публикации в реестре: 2022-10-06T22:44:04Z

Аннотация:

Представлены принцип работы и конструкция планарного магнетрона для нанесения покрытий из чистого бора. Особенностью устройства является использование термоизолированного катода-мишени из чистого кристаллического бора, нагреваемого вспомогательным слаботочным разрядом для обеспечения стабильного функционирования магнетронного разряда. Это позволяет реализовать в магнетроне как непрерывный режим работы, так и импульсный режим самораспыления, при котором в плазме разряда ионы бора превалируют над ионами рабочего газа. Другой особенностью магнетрона является использование щелевого анода специальной конструкции, обеспечивающего стабильную и длительную работу устройства при осаждении на поверхность анода неэлектропроводной пленки бора. При использовании импульсного разряда с амплитудой тока 40 А при длительности импульсов 400 мкс и частоте их повторения 25 Гц скорость нанесения покрытий из чистого бора на подложку, установленную на расстоянии 10 см от катода, была сравнима со скоростью нанесения покрытий в магнетронном разряде с постоянным током 300 мА и составляла 20−30 нм/мин.

Ключевые слова:
пленки бора, плазма, планарные магнетроны, нагреваемая мишень из бора

Тип: статьи в журналах

Права: open access

Источник: Известия высших учебных заведений. Физика. 2021. Т. 64, № 12. С. 3-10