Морфология и свойства Cr-TiN покрытий, осажденных методом реактивного магнетронного распыления

Бердиев, А. Г.

Морфология и свойства Cr-TiN покрытий, осажденных методом реактивного магнетронного распыления

Дата публикации: 2022

Дата публикации в реестре: 2022-11-01T12:44:19Z

Аннотация:

Осаждены композиционные Cr-TiN покрытия с использованием метода реактивного магнетронного распыления. Атомно-силовая микроскопия показала изменение параметров поверхностной морфологии от давления азота. Методами инструментального наноиндентирования установлено изменение механических свойств покрытий, полученных при различном парциальном давлении азота.

Тип: Working Paper