Исследования комплексного дефектообразования в кремнии, легированном никелем

Насриддинов, Сайфулла Саидович; Есбергенов, Дарьябай Муратбаевич

Исследования комплексного дефектообразования в кремнии, легированном никелем

Насриддинов, Сайфулла Саидович, Есбергенов, Дарьябай Муратбаевич

Дата публикации: 2022

Дата публикации в реестре: 2022-11-01T15:21:05Z

Аннотация:

Методами нестационарной емкостной спектроскопии (DLTS) и комбинационного рассеяния света (рамановская спектроскопия) изучено поведение примесей никеля и водорода в кремнии. Показано, что колебания атомов Ni и Н в Si находятся в диапазоне 925–985 см–1. В спектрах DLTS в кремнии n- и p-типа, диффузионно-легированном Ni, наблюдаются два глубоких уровня с энергиями Ev + 0.17 эВ и Eс – 0.42 эВ. Выявлено, что при химическом травлении в Si, легированном Ni, образовываются различные дефектные комплексы, связанные с водородом, энергии которых равны Eс – 0.18 эВ, Eс – 0.54 эВ, Ev + 0.26 эВ и Ev + 0.55 эВ.

Ключевые слова:
нестационарная емкостная спектроскопия, рамановская спектроскопия, кремний, переходные металлы, дефектообразование

Тип: статьи в журналах

Права: open access

Источник: Известия высших учебных заведений. Физика. 2022. Т. 65, № 9. С. 126-130