Формирование интерметаллидных покрытий при использовании плазмы олова и ниобия методом магнетронного напыления

Юрьев, Юрий Николаевич; Харисова, Анастасия Евгеньевна; Селезнева, Татьяна Владимировна; Савельев, Александр Игоревич; Казимиров, Артем Игоревич

Формирование интерметаллидных покрытий при использовании плазмы олова и ниобия методом магнетронного напыления

Юрьев, Юрий Николаевич, Харисова, Анастасия Евгеньевна, Селезнева, Татьяна Владимировна, Савельев, Александр Игоревич, Казимиров, Артем Игоревич

Дата публикации: 2022

Дата публикации в реестре: 2023-02-06T15:01:19Z

Аннотация:

Исследованы некоторые закономерности формирования покрытий на основе системы ниобий – олово при использовании магнетронного распыления. Покрытия получены как в режиме послойного, так и одновременного напыления от двух источников плазмы. Определен оптимальный режим работы магнетронного источника для обеспечения поверхностной концентрации олова на уровне 19–26 ат.%. Исследованы элементный состав, микроструктура полученных пленок. Проведено исследование структурно-фазового состава после отжига образцов в высоковакуумной печи при температуре 800 °С. Результаты исследований указывают на формирование интерметаллидной фазы станнида триниобия, при этом наилучшие результаты с точки зрения ожидаемых сверхпроводящих свойств получены в режиме одновременного осаждения покрытий.

Ключевые слова:
магнетронное напыление, станнид триниобия, сверхпроводящие покрытия, высокотемпературный отжиг, экспериментальные исследования

Тип: статьи в журналах

Права: open access

Источник: Известия высших учебных заведений. Физика. 2022. Т. 65, № 11. С. 199-204