Химическое парофазное осаждение SnO[2]

Вашина, В. Г.; Жарский, Иван Михайлович; Шишкин, Николай Яковлевич

Химическое парофазное осаждение SnO[2]

Вашина, В. Г., Жарский, Иван Михайлович, Шишкин, Николай Яковлевич

Дата публикации: 1997

Дата публикации в реестре: 2023-04-03T10:56:00Z

Аннотация:

В данной работе методами химического парофазного осаждения из растворов на основе SnCl[4] были получены проводящие прозрачные покрытия диоксида олова и диоксида олова, легированного галлием и хлором. Изучена зависимость электрофизических параметров пленок от температуры нанесения покрытий.

Ключевые слова:
химическое парофазное осаждение, парофазное осаждение, оксид олова, осаждение пленок, термо-ЭДС, галлий, рентгенофазовый анализ, хлор, легирование

Тип: Article