Современные методы улучшения показателя равномерности толщины вакуумных покрытий

Ралло, Ф. Н.

Современные методы улучшения показателя равномерности толщины вакуумных покрытий

Дата публикации: 2023

Дата публикации в реестре: 2023-04-03T11:24:44Z

Аннотация:

В данной статье рассматривается возможность повышения равномерности толщины формируемых покрытий вакуумными методами путем оптимизации конструкции вакуумной установки и технологических параметров процесса.

Тип: Working Paper