Газочувствительные свойства пленок твердого раствора In2O3-Ga2O3

Николаев, Владимир Иванович; Алмаев, Алексей Викторович; Кушнарев, Богдан Олегович; Печников, Алексей Игоревич; Степанов, Сергей Игоревич; Чикиряка, Андрей Владимирович; Тимашов, Роман Борисович; Щеглов, Михаил Петрович; Бутенко, Павел Николаевич; Черников, Евгений Викторович

Газочувствительные свойства пленок твердого раствора In2O3-Ga2O3

Николаев, Владимир Иванович, Алмаев, Алексей Викторович, Кушнарев, Богдан Олегович, Печников, Алексей Игоревич, Степанов, Сергей Игоревич, Чикиряка, Андрей Владимирович, Тимашов, Роман Борисович, Щеглов, Михаил Петрович, Бутенко, Павел Николаевич, Черников, Евгений Викторович

Дата публикации: 2022

Дата публикации в реестре: 2023-04-03T13:51:45Z

Аннотация:

Исследовано влияние состава газовой среды на электропроводящие свойства пленок In2O3-Ga2O3, полученных методом хлоридной газофазной эпитаксии. В интервале температур 100-550oC пленки In2O3-Ga2O3 проявляют высокую чувствительность к H2, NH3 и CO, характеризуются высоким быстродействием и низким базовым сопротивлением. Предложен качественный механизм чувствительности пленок In2O3-Ga2O3 к газам.

Ключевые слова:
оксиды металлов, электропроводящие пленки, хлоридная газофазная эпитаксия, газовая чувствительность

Тип: статьи в журналах

Источник: Письма в журнал технической физики. 2022. Т. 48, № 14. С. 37-41