Исследованы процессы сверхскоростного вакуумного формирования сплошных алюминидных слоев на конструкционных сталях 20 и 40Х. Определены оптимальные условия и режимы алитирования. Изучена структура, состав и твердость диффузионных слоев, образующихся при воздействии низкоэнергетического сильноточного электронного пучка на поверхность конструкционных сталей с покрытием Al толщиной 1 мкм, предварительно нанесенным вакуумно-дуговым методом. Экспериментально определены основные характеристики (распределения элементного состава, микротвердость, морфология и толщина) защитного диффузионного покрытия на стальных образцах. Показана возможность изменения элементного состава на глубину 30−60 мкм от поверхности в результате теплового импульсного электронно-пучкового воздействия длительностью 50 мкс. Установлено, что полученные слои в зависимости от типа стали обладают высокой твердостью в диапазоне 6000–9500 МПа.