Различные виды аппаратно-программных средств достаточно широко применяются в прецизионном оборудовании ОАО «Планар» для микроэлектроники. Использование аппаратно-программных средств позволяет не только прогнозировать изменение технического состояния оборудования в процессе его эксплуатации и осуществлять техническое обслуживание по фактическому состоянию, но и в ряде случаев обеспечить значительное продление его срока службы.